基本情報

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有馬 健太

ARIMA Kenta


キーワード

生産工学,表面科学,半導体プロセス

URL

http://www-pm.prec.eng.osaka-u.ac.jp/kenta_arima/index.html

所属組織 【 表示 / 非表示

  • 2000年04月01日 ~ 2007年03月31日,工学研究科 精密科学・応用物理学専攻,助手,専任

  • 2007年04月01日 ~ 2009年03月31日,工学研究科 精密科学・応用物理学専攻,助教,専任

  • 2009年04月01日 ~ 継続中,工学研究科 精密科学・応用物理学専攻,准教授,専任

学歴 【 表示 / 非表示

大阪大学 工学部 精密工学科 卒業 工学士 1995年03月
大阪大学 工学研究科 精密科学専攻 修了 修士(工学) 1997年03月
大阪大学 工学研究科 精密科学専攻 修了 博士(工学) 2000年03月

職歴 【 表示 / 非表示

理化学研究所 ジュニアリサーチアソシエイト 1997年04月 ~ 2000年03月
大阪大学助手 2000年04月 ~ 2007年03月
大阪大学助教 2007年04月 ~ 2009年03月
ローレンスバークレー国立研究所 ・ 客員研究員 2007年11月 ~ 2008年10月
大阪大学准教授 2009年04月 ~ 継続中

研究内容・専門分野 【 表示 / 非表示

  • 表面原子構造制御に基づく半導体新プロセス・デバイスの開発、及びそれに関連した表面科学・環境科学の研究
    加工学および生産工学関連,薄膜および表面界面物性関連,環境動態解析関連

所属学会 【 表示 / 非表示

  • 精密工学会

  • 応用物理学会

  • 日本表面真空学会

  • Materials Research Society

  • The Electrochemical Society

 

論文 【 表示 / 非表示

  • Catalytic Properties of Chemically Modified Graphene Sheets to Enhance Etching of Ge Surface in Water,Ryo Mikurino, Ayumi Ogasawara, Tomoki Hirano, Yuki Nakata, Hiroto Yamashita, Shaoxian Li, Kentaro Kawai, Kazuya Yamamura, Kenta Arima,The Journal of Physical Chemistry C,vol. 124, no. 11, pp. 6121-6129,2020年03月,学術論文

  • Improvements in graphene growth on 4H-SiC(0001) using plasma induced surface oxidation,Ouki Minami, Ryota Ito, Kohei Hosoo, Makoto Ochi, Yasuhisa Sano, Kentaro Kawai, Kazuya Yamamura, and Kenta Arima,Journal of Applied Physics,vol. 126, no. 6, pp. 065301 1-10,2019年08月,学術論文

  • Chemical etching of a semiconductor surface assisted by single sheets of reduced graphene oxide,Tomoki Hirano, Kazuki Nakade, Shaoxian Li, Kentaro Kawai, Kenta Arima,Carbon,vol. 127, pp. 681-687,2018年02月,学術論文

  • Comparative study of GeO2/Ge and SiO2/Si structures on anomalous charging of oxide films upon water adsorption revealed by ambient-pressure X-ray photoelectron spectroscopy,Daichi Mori, Hiroshi Oka, Takuji Hosoi, Kentaro Kawai, Mizuho Morita, Ethan J. Crumlin, Zhi Liu, Heiji Watanabe and Kenta Arima,Journal of Applied Physics,vol. 120, no. 9, pp. 095306 1-10,2016年09月,学術論文

  • Aggregation of carbon atoms at SiO2/SiC(0001) interface by plasma oxidation toward formation of pit-free graphene,Naoki Saito, Daichi Mori, Akito Imafuku, Keisuke Nishitani, Hiroki Sakane, Kentaro Kawai, Yasuhisa Sano, Mizuho Morita and Kenta Arima,Carbon,vol. 80, pp. 440-445,2014年12月,学術論文

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著書 【 表示 / 非表示

  • 専門著書,半導体表面の不動態化構造制御 (超精密加工と表面科学 ~原子レベルの生産技術~),有馬健太,大阪大学出版会,ISBN,ISBN 978-4-87259-465-2 C3053,2014年03月

  • 専門著書,固液界面の電子移動と化学 (超精密加工と表面科学 ~原子レベルの生産技術~),有馬健太,大阪大学出版会,ISBN,978-4-87259-465-2 C3053,2014年03月

  • 専門著書,洗浄と純水 (現代表面科学シリーズ 6.問題と解説で学ぶ表面科学),有馬健太,日本表面科学会,ISBN,978-4-320-03374-0,2013年10月

  • 専門著書,SiCパワーデバイスの開発と最新動向 第7章第5節SiC 基板表面の原子レベル平坦化技術,佐野泰久, 有馬健太, 山内和人,S&T出版,ISBN,978-4-907002-06-0,2012年10月

特許・実用新案・意匠 【 表示 / 非表示

  • アメリカ,Sample Observation Method and Observation Device,Kenta Arima,11/509077(登録),2006年08月

  • 日本,位相ロックイン型高周波走査トンネル顕微鏡,遠藤勝義,特願2006-061421(登録),2006年03月

受賞 【 表示 / 非表示

  • ベストポスタープレセンテーション賞,増本晴文, 川合健太郎, 山村和也, 有馬健太,2019年度精密工学会秋季大会,2019年09月

  • ベストポスタープレゼンテーション賞,増本晴文,川合健太郎,山村和也,有馬健太,2019年度 精密工学会 関西地方定期学術講演会,2019年06月

  • 講演奨励賞,平野 智暉,中田 裕己,山下 裕登,李 韶賢,川合 健太郎,山村 和也,有馬 健太,2018年 第79回応用物理学会秋季学術講演会,2019年03月

  • Young Scientist Award,Tomoki Hirano, Y. Nakata, H. Yamashita, S. Li, K. Kawai, K. Yamamura and K. Arima,46th Conference on the Physics & Chemistry of Surfaces & Interfaces (PCSI-46),2019年01月

  • Young Scientist Award,Shaoxian Li, T. Hirano, K. Kawai, K. Yamamura and K. Arima,46th Conference on the Physics & Chemistry of Surfaces & Interfaces (PCSI-46),2019年01月

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講演会・展示会 【 表示 / 非表示

  • イノベーション・ジャパン 2019,還元グラフェンを用いた選択エッチング機能と応用,2019年08月

  • 人間科学類型 特別授業 ,精密科学の世界―究極のものづくりと観察技術―,2015年02月

  • 理系インスパイア 特別授業,理系の最先端研究と英語の必要性,2014年02月

  • 人間科学類型 特別授業,精密科学の世界  -究極のものづくりと観察技術-,2012年12月

  • 電子情報技術部会 次世代エレクトロニクス分科会,超平坦SiC表面上へのグラフェン低温形成に関する研究,2012年07月

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会議運営 【 表示 / 非表示

  • 国際会議,47th Conference on the Physics and Chemistry of Surfaces and Interfaces (PCSI-47),Program Committee,2020年01月

  • 国内重要会議,2018年 日本表面真空学会 学術講演会,プログラム委員長,2018年11月

  • 国内重要会議,2017年度 精密工学会 秋季大会 学術講演会,実行委員,2017年09月

  • 国内重要会議,2013年度 精密工学会 秋季大会 学術講演会,実行委員,2013年09月

  • 国際会議,Fifth International Symposium on Atomically Controlled Fabrication Technology ,Program Committee,2012年10月

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学外運営 【 表示 / 非表示

  • 学会,精密工学会 関西支部,幹事,2018年06月 ~ 継続中

  • 学会,日本表面真空学会 関西支部,委員,2018年04月 ~ 2019年03月

  • 学会,日本表面真空学会 学術講演会委員会,委員,2018年04月 ~ 2019年03月

  • 学会,精密工学会,校閲委員,2016年04月 ~ 2018年03月

  • 学会,応用物理学会 界面ナノ電子化学研究会,アドバイザー,2016年01月 ~ 継続中

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