基本情報

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浜口 智志

HAMAGUCHI Satoshi


キーワード

プラズマ物理学

メールアドレス

メールアドレス

電話番号

06-6879-7913

FAX番号

06-6879-7916

URL

http://www.camt.eng.osaka-u.ac.jp/hamaguchi/

所属組織 【 表示 / 非表示

  • 2004年04月01日 ~ 2013年03月31日,工学研究科 附属原子分子イオン制御理工学センター,教授,専任

  • 2013年04月01日 ~ 2013年04月15日,工学研究科 附属アトミックデザイン研究センター,教授,専任

  • 2013年04月16日 ~ 継続中,工学研究科 附属アトミックデザイン研究センター,教授,専任

学歴 【 表示 / 非表示

東京大学 理学部 物理学科 卒業 理学士 1982年03月
東京大学 理学系研究科 物理学専攻 修了 理学修士 1984年03月
ニューヨーク大学 Department of Mathematics, Graduate School of Arts and Science  修了 M. Sc. in Mathematics 1986年09月
東京大学 理学系研究科 物理学専攻 修了 理学博士 1987年03月
ニューヨーク大学 Department of Mathematics, Graduate School of Arts and Science  修了 Ph. D. in Mathematics 1988年06月

職歴 【 表示 / 非表示

ニューヨーク大学クーラント数理科学研究所・コンサルタント 1988年06月 ~ 1988年08月
テキサス大学オースティン校核融合理論研究所・研究員 1988年09月 ~ 1990年05月
IBM T.J.ワトソン研究所・主任研究員 1990年06月 ~ 1998年03月
京都大学エネルギー科学研究科・助教授 1998年04月 ~ 2004年03月
大阪大学工学研究科・教授 2004年04月 ~ 継続中

研究内容・専門分野 【 表示 / 非表示

  • 核融合
    原子力工学関連

  • プラズマ物理学
    プラズマ科学関連

  • プラズマ理工学
    半導体、光物性および原子物理関連

  • プラズマプロセス・プラズマプロセシング・エッチング・CVD・半導体プロセス・イオン注入

所属学会 【 表示 / 非表示

  • American Vacuum Society

  • 応用物理学会

  • American Physical Society

  • プラズマ核融合学会

  • 日本物理学会

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論文 【 表示 / 非表示

  • Analyses of Hexafluoroacetylacetone (Hfac) Adsorbed on Transition Metal Surfaces,Tomoko Ito, Kazuhiro Karahashi, Satoshi Hamaguchi,6th International Atomic Layer Etching Workshop (ALE 2019) ,2019年07月,国際会議(proceedingsなし)

  • 原子層エッチングプロセスにおける表面反応解析,伊藤智子, 唐橋一浩, 浜口智志,The 4th Atomic Layer Process (ALP) Workshop,2019年06月,会議報告/口頭発表

  • ヘキサフルオロアセチルアセトンによる遷移金属(Ni, Co)におけるサーマルエッチング反応解析,伊藤智子, 唐橋一浩, 浜口智志,第66回応用物理学会春季学術講演会,2019年03月,会議報告/口頭発表

  • Etching reactions by polyatomic molecular ions containing fluorine atoms,Tomoko Ito, Kazuhiro Karahashi, Takuya Hirohashi, Junichi Hashimoto, Mitsuhiro Omura, Hisataka Hayashi, and Satoshi Hamaguchi,40th International Symposium on Dry Process,2018年11月,国際会議(proceedingsあり)

  • フルオロカーボン(Cx Fy+)イオンによるSiO2およびSiエッチング反応,唐橋一浩, 李虎, 伊藤智子, 浜口智志,第65回応用物理学会春季学術講演会,2018年03月,会議報告/口頭発表

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著書 【 表示 / 非表示

  • 専門著書,プラズマプロセスの基礎と素過程」 浜口智志: 第25回プラズマエレクトロニクス講習会テキスト,浜口智志,(公社)応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会,2014年11月

  • 専門著書,プラズマ原子分子過程ハンドブック,浜口智志、村上泉、加藤太治,大阪大学出版会,ISBN,4872593626,2011年04月

  • 専門著書,「プラズマエッチング表面反応シミュレーション」 “ドライ・ウエットエッチング技術全集”,浜口智志、 技術情報協会編、,技術情報協会,2009年03月

  • 一般著書,「プラズマフォトニクス」“光とナノが創る科学と産業”,浜口智志、北野勝久、大阪大学フォトニクス先端融合研究センター編,株式会社アドスリー,2009年03月

  • 専門著書,プラズマイオンプロセスとその応用:「モデリング」,浜口智志,オーム社,2005年08月

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特許・実用新案・意匠 【 表示 / 非表示

  • 日本,胚様体を外胚葉へと分化誘導する方法,西原祥子、三浦太一、浜口智志,特願2015-231156(出願),2015年11月

  • 日本,放射性プルーム監視システムおよび放射性物質検出装置,浜口智志、出口智子、竹内正人、タム・アンディ、内田清志、加藤万寿夫、隅谷典久,2014-179899(出願),2014年09月

  • 日本,エッチング方法および装置,唐橋一浩、浜口智志、瀬木利夫、松尾二郎、木下啓蔵、溝谷浩平,特願2014-41240(出願),2014年03月

  • 日本,人工骨、人工骨製造装置及び人工骨製造方法,浜口智志、森口悠、増田一仁、岡田潔、名井陽、吉川秀樹、李大成、,PCT/JP2011/071262 (出願),2011年09月

  • 日本,人工骨、人工骨製造装置及び人工骨製造方法,浜口智志、森口悠、増田一仁、岡田潔、名井陽、吉川秀樹,特願2010-207645(出願),2010年09月

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受賞 【 表示 / 非表示

  • 第11回プラズマエレクトロニクス賞 ,Tomoko Ito, Kazuhiro Karahashi, Masanaga Fukasawa, Tetsuya Tatsumi, and Satoshi Hamaguchi,,応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会,2012年09月

 

学外運営 【 表示 / 非表示

  • 学会,Journal of Physics D: Applied Physics, ,Guest editor,2016年04月 ~ 継続中

  • 学会,Atomic Layer Process (ALP) Workshop,Chair, Organizing Committee,,2016年03月 ~ 継続中

  • 学会,38th International Symposium of Dry Process (DPS),Vice Chair, Executive Committee,2016年01月 ~ 継続中

  • 学会,Workshop in Gaseous Electronic Conference (GEC) 2016,Chair, Program Committee, ,2016年01月 ~ 継続中

  • 学会,Plasma Processing for Biomedical Applications (PB) Focus Topic, American Vacuum Society (AVS),Chair, Program Committee,2016年01月 ~ 継続中

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