基本情報

写真b

唐橋 一浩

KARAHASHI Kazuhiro


所属組織 【 表示 / 非表示

  • 2006年11月01日 ~ 2007年03月31日,工学研究科 附属原子分子イオン制御理工学センター,特任助手(常勤),専任

  • 2007年04月01日 ~ 2013年03月31日,工学研究科 附属原子分子イオン制御理工学センター,特任助教(常勤),専任

  • 2013年04月01日 ~ 2013年04月15日,工学研究科 附属アトミックデザイン研究センター,特任助教(常勤),専任

  • 2013年04月16日 ~ 2015年03月31日,工学研究科 附属アトミックデザイン研究センター,特任助教(常勤),専任

  • 2015年10月01日 ~ 2016年03月31日,工学研究科 附属アトミックデザイン研究センター,特任准教授,専任

  • 2016年04月01日 ~ 継続中,工学研究科 附属アトミックデザイン研究センター,特任教授(常勤),専任

 

論文 【 表示 / 非表示

  • Analyses of Hexafluoroacetylacetone (Hfac) Adsorbed on Transition Metal Surfaces,Tomoko Ito, Kazuhiro Karahashi, Satoshi Hamaguchi,6th International Atomic Layer Etching Workshop (ALE 2019) ,2019年07月,国際会議(proceedingsなし)

  • 原子層エッチングプロセスにおける表面反応解析,伊藤智子, 唐橋一浩, 浜口智志,The 4th Atomic Layer Process (ALP) Workshop,2019年06月,会議報告/口頭発表

  • ヘキサフルオロアセチルアセトンによる遷移金属(Ni, Co)におけるサーマルエッチング反応解析,伊藤智子, 唐橋一浩, 浜口智志,第66回応用物理学会春季学術講演会,2019年03月,会議報告/口頭発表

  • Etching reactions by polyatomic molecular ions containing fluorine atoms,Tomoko Ito, Kazuhiro Karahashi, Takuya Hirohashi, Junichi Hashimoto, Mitsuhiro Omura, Hisataka Hayashi, and Satoshi Hamaguchi,40th International Symposium on Dry Process,2018年11月,国際会議(proceedingsあり)

  • フルオロカーボン(Cx Fy+)イオンによるSiO2およびSiエッチング反応,唐橋一浩, 李虎, 伊藤智子, 浜口智志,第65回応用物理学会春季学術講演会,2018年03月,会議報告/口頭発表

全件表示 >>

特許・実用新案・意匠 【 表示 / 非表示

  • 日本,エッチング方法および装置,唐橋一浩、浜口智志、瀬木利夫、松尾二郎、木下啓蔵、溝谷浩平,特願2014-41240(出願),2014年03月

受賞 【 表示 / 非表示

  • 第11回プラズマエレクトロニクス賞 ,Tomoko Ito, Kazuhiro Karahashi, Masanaga Fukasawa, Tetsuya Tatsumi, and Satoshi Hamaguchi,,応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会,2012年09月