基本情報

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山村 和也

YAMAMURA Kazuya


キーワード

超精密加工, 物理化学加工, 表面改質, 超精密光学素子, X線光学素子, 中性子光学素子

メールアドレス

メールアドレス

電話番号

06-6879-7293

FAX番号

06-6879-7293

URL

http://www.prec.eng.osaka-u.ac.jp

性別

男性

所属組織 【 表示 / 非表示

  • 2001年08月01日 ~ 2007年03月31日,工学研究科 附属超精密科学研究センター,助教授,専任

  • 2007年04月01日 ~ 2017年08月15日,工学研究科 附属超精密科学研究センター,准教授,専任

  • 2017年08月16日 ~ 継続中,工学研究科 精密科学・応用物理学専攻,教授,専任

学歴 【 表示 / 非表示

大阪大学 工学部 精密工学科 卒業 工学士 1989年03月
大阪大学 工学研究科 精密工学専攻 修了 工学修士 1991年03月
大阪大学 工学研究科  博士(工学) 2001年01月

職歴 【 表示 / 非表示

大阪大学 助手 1991年04月 ~ 2001年07月
大阪大学 助教授 2001年08月 ~ 2007年03月
大阪大学 准教授 2007年04月 ~ 2017年08月
大阪大学 教授 2017年08月 ~ 継続中
大阪電気通信大学 客員研究員 2009年04月 ~ 2010年03月
理化学研究所   客員研究員 2009年04月 ~ 継続中

研究内容・専門分野 【 表示 / 非表示

  • プラズマ援用研磨(PAP: Plasma Assited Polishing)による硬脆難加工材料(SiC, GaN, Sapphire)の無歪超平滑仕上げ
    加工学および生産工学関連

  • 陽極酸化を援用した単結晶SiC, 焼結SiC基板の高能率な超精密無歪み加工法の開発
    加工学および生産工学関連

  • プラズマCVM(Chemical Vaporization Machining)による光学素子、半導体基板の超精密加工
    加工学および生産工学関連

  • 大気圧プラズマを用いた基板の表面改質・機能性付与
    薄膜および表面界面物性関連,加工学および生産工学関連

  • 電気化学加工プロセスによる金属製ミラー基盤の超精密無歪み加工
    加工学および生産工学関連

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所属学会 【 表示 / 非表示

  • CIRP(国際生産加工アカデミー)

  • 精密工学会

  • 砥粒加工学会

  • アメリカ精密工学会(ASPE)

  • 表面技術協会

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論文 【 表示 / 非表示

  • プラズマCVMによる高精度ミラーの作製,山村和也,精密工学会誌 Vol. 84 No. 6,84(6) 507-510,2018年06月,解説・総説

  • プラズマ援用研磨によるワイドギャップ半導体材料の超平滑仕上げ,1. 山村和也,自動車技術 Vol. 72 No. 6,42-47,2018年06月,解説・総説

  • Application of Plasma Chemical Vaporization Machining for Figuring of Reaction-sintered Silicon Carbide,R. Sun, Y. Ohkubo, K. Endo, K. Yamamura,Proceedings of 18th International Conference of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology,391-392,2018年06月,国際会議(proceedingsあり)

  • Damage-free highly efficient polishing of single-crystal diamond wafer by plasma-assisted polishing,K. Yamamura, K. Emori, R. Sun, Y. Ohkubo, K. Endo, Y. Yamada, A. Chayama, Y. Mokuno,CIRP Annals Manufacturing Technology,Vol. 67 (2018) 353-356.,2018年05月,学術論文

  • Surface modification of fluoropolymer using open-air plasma treatment at atmospheric pressure with Ar, Ar + O2, and Ar + H2 for application in high-adhesion metal wiring patterns,Y. Kodama, Y. Ohkubo, T. Oshita, Y. Nakano, T. Uehara, T. Aoyama, K. Endo, and K. Yamamura,表面技術,69(4) 152-162,2018年04月,学術論文

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著書 【 表示 / 非表示

  • 専門著書,Chapter 41. Plasma-Based Nanomanufacturing Under Atmospheric Pressure, Handbook of Manufacturing Engineering and Technology,K. Yamamura, Y. Sano,Springer,ISBN,978-1-4471-4669-8,2014年10月

  • 専門著書,精密加工と微細構造の形成技術, 第1章第2節[9], プラズマ援用研磨による SiCのスクラッチフリー・ダメージフリー仕上げ,山村和也,技術情報協会,ISBN,978-4-86104-483-0,2013年07月

  • 教科書,超精密加工と表面科学 原子レベルの生産技術,山村和也他,大阪大学出版会,ISBN,978-4-87259-465-2 C3053,2014年03月

  • 専門著書,大気圧プラズマの生成制御と応用技術, 第13節 プラズマCVMによる超精密加工,山村和也、佐野泰久、森 勇藏,サイエンス&テクノロジー,ISBN,4-903413-13-6,2006年11月

  • 専門著書,ウエットエッチングのメカニズムと処理パラメータの最適化,第1章第10節 ローカルウエットエッチング法による光学素子の高精度加工,山村和也,サイエンス&テクノロジー,ISBN,978-4-903413-47-1,2008年07月

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特許・実用新案・意匠 【 表示 / 非表示

  • 日本,難加工材料の精密加工方法及びその装置,山村和也、是津信行,特許第5614677号(登録),2010年02月,2014年09月

  • 日本,表面加工方法及び装置,山村和也,特許第5039939号(登録),2006年01月,2012年07月

  • 日本,多成分材料のプラズマエッチング加工方法,山村和也、大久保雄司、孫栄硯,特願2018-017230(出願),2018年02月

  • 日本,陽極酸化を援用した研磨方法,山村和也,特許第6329655号(登録),2017年02月,2018年04月

  • 日本,数値制御プラズマ処理方法及びその装置,山村和也、境谷省吾、舩戸大輔,特願2016-035730(出願),2016年02月

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受賞 【 表示 / 非表示

  • 井上春成賞,山村和也, 谷本秀夫,井上春成賞委員会,2017年07月

  • Rudolf Kingslake Medal and Prize,X. Shen, Q. Tu, J. Zhou, H. Deng, G. Jiang, K. Yamamura,SPIE,2016年08月

  • 岩木トライボコーティングネットワークアワード(岩木賞)優秀賞,山村和也,一般社団法人未来生産システム学協会,2015年02月

  • 工作機械技術振興賞(論文賞),トウキ, 山村和也,公益財団法人 工作機械技術振興財団,2014年06月

  • 工作機械技術振興賞(論文賞),森勇藏, 山村和也, 佐野泰久,(財)工作機械技術振興財団,2003年06月

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報道 【 表示 / 非表示

  • 「NEXTデバイス 京セラ 世界最小の水晶部品 加工、プラズマ技術を応用」,日経産業新聞,2017年10月

  • フッ素樹脂、熱アシストプラズマ処理で高い接着性-阪大が解明,日刊工業新聞,2017年08月

  • 「井上春成賞に2件」,日本経済新聞,2017年06月

  • フッ素樹脂の密着性、1年超持続−阪大、加熱プラズマ処理で成功,日刊工業新聞,2017年02月

  • フッ素樹脂と金属膜の強力接合 阪大‐積水化学‐日油と共同 3年内めど実用化,化学工業日報,2016年10月

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研究シーズ 【 表示 / 非表示

  • 難加工材料の精密加工方法及びその装置

 

講演会・展示会 【 表示 / 非表示

  • セミコンジャパン Inovation Village,プラズマナノ製造プロセス,2016年12月

  • SURTECH2016「表面技術要素展」,フッ素樹脂のプラズマ表面処理,2016年01月

  • SURTECH2015「表面技術要素展」,フッ素樹脂のプラズマ表面処理,2015年01月

  • イノベーションジャパン,「フッ素樹脂でさえも接着を可能にするプラズマ処理技術」,2014年09月

  • 真空展,中性子集束用高性能楕円面スーパーミラーデバイス,2013年11月

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会議運営 【 表示 / 非表示

  • 国際会議,18th CIRP Conference on Electro Physical and Chemical Machining (ISEM XVIII),2016年04月

  • 国際会議,The 6th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology (ASPEN2015) ,2015年08月

  • 国際会議,The 4th Asia Pacific Conference on Optics Manufacture 2014 (APCOM 2014),2014年11月

  • 国際会議,2014 International Conference on Machining, Materials and Mechanical Technologies(2014 IC3MT),Technical program committee member,2014年08月

  • 国際会議,The 15th International Conference on Precision Engineering (ICPE2014),2014年07月

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学外運営 【 表示 / 非表示

  • 学会,一般社団法人 電気加工学会,理事,2016年06月 ~ 2018年05月

  • 学会,一般社団法人 電気加工学会 西日本支部,幹事,2016年06月 ~ 2018年05月

  • 学会,(社)精密工学会 超精密加工専門委員会,幹事,2010年12月 ~ 2013年01月

  • 学会,(社)精密工学会 関西支部,庶務幹事,2010年04月 ~ 継続中

  • 学会,(社)精密工学会,校閲委員会委員,2008年04月 ~ 2011年03月

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