基本情報

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御堂 義博

MIDOH Yoshihiro


キーワード

半導体、走査電子顕微鏡、欠陥検査、工学・医療画像処理、電子顕微鏡トモグラフィ、めまい診断

メールアドレス

メールアドレス

URL

http://www-ise3.ise.eng.osaka-u.ac.jp/~midoh

性別

男性

所属組織 【 表示 / 非表示

  • 2006年04月01日 ~ 2007年05月31日,情報科学研究科 情報システム工学専攻,特任研究員,専任

  • 2007年06月01日 ~ 継続中,情報科学研究科 情報システム工学専攻,助教,専任

学歴 【 表示 / 非表示

大阪大学 工学部  卒業 2001年03月
大阪大学 情報科学研究科  修了 2003年03月
大阪大学 情報科学研究科  修了 2006年03月

職歴 【 表示 / 非表示

大阪大学大学院情報科学研究科 特任研究員 2006年04月 ~ 2007年05月
大阪大学大学院情報科学研究科 助教 2007年06月 ~ 継続中

研究内容・専門分野 【 表示 / 非表示

  • LSIの微細化に伴って、走査電子顕微鏡(SEM)による形状計測・欠陥検査の精度維持が困難となってきている。そこで、検査精度・スループットの向上を目的として、SEM画像の高解像度化、高精度な画像間マッチング技術を開発している。
    計測工学関連,電子デバイスおよび電子機器関連

  • LSI の微細化に伴い、レジストパターンのラインエッジラフネス(LER) によるデバイス性能のバラつきが問題となっている。LER の揺らぎの周波数には高周波も含まれることや、微細寸法を局所的に計測する必要が高まっていることから、ラインプロファイルをできる限り平均化しないことが望ましい。本研究では、統計的適合ウェーブレットを用いたSEM 画像の計測手法を提案する。
    計測工学関連

所属学会 【 表示 / 非表示

  • 応用物理学会

  • 日本めまい平衡医学会

  • SPIE

  • 電子情報通信学会

 

論文 【 表示 / 非表示

  • Accuracy improvement of phase estimation in electron holography using noise reduction methods,Yoshihiro Midoh, Koji Nakamae,Microscopy,dfz115,2020年01月,学術論文

  • Image quality enhancement of a CD-SEM image using conditional generative adversarial networks,Y. Midoh and K. Nakamae,SPIE Advanced Lithography 2019,10959-10,2019年02月,国際会議(proceedingsあり)

  • 深層学習を用いた画像解析・異常検知に関する一考察,御堂義博,中前幸治,日本信頼性 学会誌「信頼性」,40(2) 81-86,2018年03月,学術論文

  • 機械学習を用いた電子顕微鏡連続断面像からのミトコンドリア検出手法,足立 健太, 御堂 義博, 中前 幸治,第36回ナノテスティングシンポジウム会議録, 143-148,2016年11月,会議報告/口頭発表

  • 細胞培養時スクリーニングのためのコロニー輪郭自動抽出手法,有田 亘佑 , 御堂 義博, 中前 幸治,第36回ナノテスティングシンポジウム会議録, 137-141,2016年11月,会議報告/口頭発表

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著書 【 表示 / 非表示

  • 専門著書,立体像可視化ソフトウェア「HawkC」の開発,御堂義博,エヌ・ティー・エス,ISBN,978-4-86043-428-1,2015年05月

受賞 【 表示 / 非表示

  • 第42回(2012年度)信頼性・保全性シンポジウム奨励報文賞,山下将嗣, 大谷知行, 松本 徹, 御堂義博, 三浦克介, 中前幸治, 二川清,一般財団法人日本化学技術連盟,2012年07月

  • 第39回ナノテスティングシンポジウム若手奨励賞,岩本 航,ナノテスティング学会,2019年12月

 

会議運営 【 表示 / 非表示

  • 国際会議,ナノテスティングシンポジウム ,事務局,2019年11月

  • 国際会議,ナノテスティングシンポジウム ,事務局,2018年11月

  • 国際会議,ナノテスティングシンポジウム ,事務局,2017年11月

  • 国際会議,ナノテスティングシンポジウム ,事務局,2016年11月

  • 国際会議,ナノテスティングシンポジウム ,事務局,2015年11月

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