基本情報

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吉村 智

YOSHIMURA Satoru


キーワード

プラズマ,イオンビーム

所属組織 【 表示 / 非表示

  • 1998年05月01日 ~ 2003年03月31日,工学研究科,助手,専任

  • 2003年04月01日 ~ 2007年03月31日,工学研究科 附属原子分子イオン制御理工学センター,助教授,専任

  • 2007年04月01日 ~ 2013年03月31日,工学研究科 附属原子分子イオン制御理工学センター,准教授,専任

  • 2013年04月01日 ~ 2013年04月15日,工学研究科 附属アトミックデザイン研究センター,准教授,専任

  • 2013年04月16日 ~ 継続中,工学研究科 附属アトミックデザイン研究センター,准教授,専任

学歴 【 表示 / 非表示

京都大学 理学部  卒業 理学士 1992年03月
京都大学 理学研究科 物理学第一専攻 修了 理学修士 1994年03月
京都大学 理学研究科 物理学・宇宙物理学専攻 単位取得満期退学 1997年03月
京都大学 理学研究科 物理学・宇宙物理学専攻 修了 博士(理学) 2000年01月

職歴 【 表示 / 非表示

大阪大学・助手 1997年04月 ~ 2003年03月
大阪大学・准教授 2003年04月 ~ 継続中

研究内容・専門分野 【 表示 / 非表示

  • 高温プラズマにおける計算機トモグラフィー, 高温プラズマの波動加熱, 低エネルギーイオンビーム
    プラズマ科学関連

所属学会 【 表示 / 非表示

  • プラズマ・核融合学会

  • 日本物理学会

  • スマートプロセス学会

  • 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会

  • 応用物理学会

 

論文 【 表示 / 非表示

  • Characteristics of films deposited by the irradiation of GeCHx+ ions produced from hexamethyldigermane and their dependence on the injected ion energy,S. Yoshimura, S. Sugimoto, T. Takeuchi, K. Murai, M. Kiuchi,Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B,Vol. 461, pp. 1-5,2019年12月,学術論文

  • Effects of injected ion energy on silicon carbide film formation by low-energy SiCH3+ beam irradiation,S. Yoshimura, S. Sugimoto, T. Takeuchi, K Murai, M. Kiuchi,Thin Solid Films,Vol. 685, pp. 408-413.,2019年09月,学術論文

  • Low-energy mass-selected ion beam deposition of silicon carbide with Bernas-type ion source using methylsilane,S. Yoshimura, S. Sugimmoto, T. Takeuchi, K. Murai, M. Kiuchi,AIP Advances,Vol. 9, 095051,2019年09月,学術論文

  • Identification of fragment ions produced from hexamethyldigermane and the production of low-energy beam of fragment ion possessing Ge-C bond,S. Yoshimura, S. Sugimoto, T. Takeuchi, M. Kiuchi,AIP Advances,Vol. 9, 025008 (2019),2019年02月,学術論文

  • Identification of fragment ions produced from hexamethyldisilazane and production of low-energy mass-selected fragment ion beam,S. Yoshimura, S. Sugimoto, T. Takeuchi, K. Murai, M. Kiuchi,Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B,Vol. 430, pp. 1-5,2018年09月,学術論文

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学外運営 【 表示 / 非表示

  • 学会,応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会,幹事,2006年04月 ~ 2008年03月

  • 学会,社団法人 高温学会,評議員,2005年05月 ~ 2007年05月