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榎本 俊之 ENOMOTO Toshiyuki
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所属組織 【 表示 / 非表示 】
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2005年01月01日 ~ 2005年03月31日,工学研究科,助教授,専任
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2005年04月01日 ~ 2007年03月31日,工学研究科 機械工学専攻,助教授,専任
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2007年04月01日 ~ 2010年03月31日,工学研究科 機械工学専攻,准教授,専任
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2010年04月01日 ~ 継続中,工学研究科 機械工学専攻,教授,専任
学歴 【 表示 / 非表示 】
東京大学 工学部 産業機械工学科 卒業 | 1988年03月 | |
東京大学 工学系研究科 産業機械工学専攻 修了 | 1990年03月 | |
東京大学 工学系研究科 産業機械工学専攻 修了 | 博士(工学) | 1999年03月 |
職歴 【 表示 / 非表示 】
(株)リコー | 1990年04月 ~ 2004年12月 |
東京大学生産技術研究所 客員助教授 | 2001年04月 ~ 2004年03月 |
工学院大学 非常勤講師 | 2001年10月 ~ 2005年03月 |
東京大学生産技術研究所 研究員 | 2004年04月 ~ 2006年03月 |
大阪大学 助教授 | 2004年12月 ~ 2010年03月 |
大阪大学 教授 | 2010年04月 ~ 継続中 |
研究内容・専門分野 【 表示 / 非表示 】
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精密加工学
超精密加工学
研磨加工に関する研究
シリコンウェーハ研磨加工に関する研究
固定砥粒研磨加工に関する研究
トライボケミカル加工に関する研究
超精密研削加工に関する研究
超精密切削加工に関する研究
微細表面構造を有する切削工具に関する研究
加工学および生産工学関連
論文 【 表示 / 非表示 】
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Reducing Edge Roll-Off During Polishing of Substrates,Urara SATAKE, Toshiyuki ENOMOTO, Yuma OBAYASHI and Tatsuya SUGIHARA,Precision Engineering,51(2018)97-102,2017年08月,学術論文
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高平坦エッジ形状を実現する研磨パッドの開発(二層構造研磨パッドの上層軟質化によるエッジ平坦性の向上),佐竹うらら,榎本俊之,三宅貴大,田畑 憲一,日本機械学会論文集(C編),78,786(2012)669-676,78,786(2012)669-676,2012年02月,学術論文
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A Newly Developed Polishing Pad for Achieving High Surface Flatness Without Edge Roll Off,Toshiyuki ENOMOTO, Urara SATAKE, Takahiro MIYAKE and Norikazu TABATA,Annals of the CIRP,60,(2011)371-374,60,371-374,2011年08月,学術論文
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機械屋が考えるSiウェーハエッジの平坦化,榎本俊之,佐竹うらら,第134回シリコンテクノロジー研究集会,(2011)22-26,22-26,2011年03月,会議報告/口頭発表
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Improving Anti-Adhesive Properties of Cutting Tool Surfaces by Nano/Micro Textures,Toshiyuki ENOMOTO and Tatusya SUGIHARA,Annals of the CIRP,Vol.59,(2010)pp.597-600,VOl.59,pp.597-600,2010年08月,学術論文
特許・実用新案・意匠 【 表示 / 非表示 】
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日本,積層研磨パッド,榎本俊之,田畑憲一,特許第5234916号(登録),2007年01月,2013年04月
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日本,研磨パッド,田畑憲一,榎本俊之,上真樹,佐藤大介,特許第5371251号(登録),2008年01月,2013年09月
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日本,研削加工方法,榎本俊之,特許第3253799号(登録),1994年05月,2001年11月
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日本,ワイヤ工具およびその製造方法,榎本俊之,谷泰弘,特許第3362015号(登録),1999年07月,2002年10月
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アメリカ,Processing Tool, Method of Producing Tool, Processing Method and Processing Apparatus,Toshiyuki ENOMOTO, Yasuhiro TANI and Shigeru INOUE,U.S. Patent 6,685,539(登録),2000年08月,2000年08月
受賞 【 表示 / 非表示 】
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精密工学会論文賞,桐野宙治,榎本俊之,精密工学会,2012年03月
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工作機械技術振興賞 奨励賞,三宅貴大,榎本俊之,工作機械技術振興財団,2009年06月
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日本機械学会賞(論文),榎本俊之,島崎裕,谷泰弘,江藤桂,日暮久乃,山口幸男,酒井安昭,日本機械学会,2001年04月
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砥粒加工学会論文賞,桐野宙治,榎本俊之,砥粒加工学会,2013年03月
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砥粒加工学会 奨励賞,榎本俊之,砥粒加工学会,2002年09月
報道 【 表示 / 非表示 】
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複合粒子研磨法,日刊工業新聞,2003年03月
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複合粒子研磨法,日刊工業新聞,2002年08月
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アルミディスク効率研磨,日経産業新聞,1999年05月
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シリコンウエハー研磨テープ開発,日本工業新聞,1999年04月
講演会・展示会 【 表示 / 非表示 】
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砥粒加工学会挑戦的砥粒加工技術専門委員会第8回オープンシンポジウム,精密機械加工,2007年03月
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砥粒加工学会オープンセミナー,研磨加工の基礎,2005年12月
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次世代研磨加工技術コース,固定砥粒加工技術,2005年07月
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第3回先進研磨技術研究会,砥粒入り研磨パッド,2004年12月
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次世代研磨加工技術コース,固定砥粒加工技術,2004年07月
会議運営 【 表示 / 非表示 】
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国際会議,日本機械学会 the 6th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century,実行委員会 委員,2011年11月
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国際会議,日本機械学会 the 5th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century,実行委員会 現地委員長,2009年12月
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国内重要会議,日本機械学会第7回生産加工・工作機械部門講演会,実行委員会 幹事,2008年11月
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国際会議,International Symposium on Advances in Abrasive Technology 2008,Conference Committee Member,2008年10月
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国際会議,International Symposium on Advances in Abrasive Technology 2007,Conference Committee Member,2007年09月
学外運営 【 表示 / 非表示 】
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学会,精密工学会,関西支部商議員,2009年04月 ~ 継続中
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学会,日本機械学会,the 5th International Conference on Leading Edge Manufacturing 実行委員会 現地実行委員長,2008年03月 ~ 2009年12月
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学会,International Symposium on Advances in Abrasive Technology 2008,Conference Committee Member,2007年10月 ~ 2008年10月
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学会,日本機械学会,第7回 生産加工・工作機械部門講演会実行委員会幹事,2007年07月 ~ 2008年11月
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学会,精密工学会,ナノ精度機械加工専門委員会委員,2006年08月 ~ 継続中