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榎本 俊之 ENOMOTO Toshiyuki
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所属組織 【 表示 ／ 非表示 】
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2005年01月01日 ～ 2005年03月31日，工学研究科，助教授，専任
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2005年04月01日 ～ 2007年03月31日，工学研究科 機械工学専攻，助教授，専任
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2007年04月01日 ～ 2010年03月31日，工学研究科 機械工学専攻，准教授，専任
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2010年04月01日 ～ 継続中，工学研究科 機械工学専攻，教授，専任
学歴 【 表示 ／ 非表示 】
| 東京大学 工学部 産業機械工学科 卒業 | 1988年03月 | |
| 東京大学 工学系研究科 産業機械工学専攻 修了 | 1990年03月 | |
| 東京大学 工学系研究科 産業機械工学専攻 修了 | 博士（工学） | 1999年03月 |
職歴 【 表示 ／ 非表示 】
| （株）リコー | 1990年04月 ～ 2004年12月 |
| 東京大学生産技術研究所 客員助教授 | 2001年04月 ～ 2004年03月 |
| 工学院大学 非常勤講師 | 2001年10月 ～ 2005年03月 |
| 東京大学生産技術研究所 研究員 | 2004年04月 ～ 2006年03月 |
| 大阪大学 助教授 | 2004年12月 ～ 2010年03月 |
| 大阪大学 教授 | 2010年04月 ～ 継続中 |
研究内容・専門分野 【 表示 ／ 非表示 】
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精密加工学
超精密加工学
研磨加工に関する研究
シリコンウェーハ研磨加工に関する研究
固定砥粒研磨加工に関する研究
トライボケミカル加工に関する研究
超精密研削加工に関する研究
超精密切削加工に関する研究
微細表面構造を有する切削工具に関する研究
加工学および生産工学関連
論文 【 表示 ／ 非表示 】
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Reducing Edge Roll-Off During Polishing of Substrates，Urara SATAKE, Toshiyuki ENOMOTO, Yuma OBAYASHI and Tatsuya SUGIHARA，Precision Engineering，51（2018）97-102，2017年08月，学術論文
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高平坦エッジ形状を実現する研磨パッドの開発（二層構造研磨パッドの上層軟質化によるエッジ平坦性の向上），佐竹うらら，榎本俊之，三宅貴大，田畑 憲一，日本機械学会論文集（C編），78，786（2012）669-676，78，786（2012）669-676，2012年02月，学術論文
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A Newly Developed Polishing Pad for Achieving High Surface Flatness Without Edge Roll Off，Toshiyuki ENOMOTO, Urara SATAKE, Takahiro MIYAKE and Norikazu TABATA，Annals of the CIRP，60，（2011）371-374，60，371-374，2011年08月，学術論文
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機械屋が考えるSiウェーハエッジの平坦化，榎本俊之，佐竹うらら，第134回シリコンテクノロジー研究集会，（2011）22-26，22-26，2011年03月，会議報告/口頭発表
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Improving Anti-Adhesive Properties of Cutting Tool Surfaces by Nano/Micro Textures，Toshiyuki ENOMOTO and Tatusya SUGIHARA，Annals of the CIRP，Vol.59，（2010）pp.597-600，VOl.59，pp.597-600，2010年08月，学術論文
特許・実用新案・意匠 【 表示 ／ 非表示 】
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日本，積層研磨パッド，榎本俊之，田畑憲一，特許第5234916号（登録），2007年01月，2013年04月
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日本，研磨パッド，田畑憲一，榎本俊之，上真樹，佐藤大介，特許第5371251号（登録），2008年01月，2013年09月
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日本，研削加工方法，榎本俊之，特許第3253799号（登録），1994年05月，2001年11月
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日本，ワイヤ工具およびその製造方法，榎本俊之，谷泰弘，特許第3362015号（登録），1999年07月，2002年10月
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アメリカ，Processing Tool, Method of Producing Tool, Processing Method and Processing Apparatus，Toshiyuki ENOMOTO, Yasuhiro TANI and Shigeru INOUE，U.S. Patent 6,685,539（登録），2000年08月，2000年08月
受賞 【 表示 ／ 非表示 】
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精密工学会論文賞，桐野宙治，榎本俊之，精密工学会，2012年03月
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工作機械技術振興賞 奨励賞，三宅貴大，榎本俊之，工作機械技術振興財団，2009年06月
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日本機械学会賞（論文），榎本俊之，島崎裕，谷泰弘，江藤桂，日暮久乃，山口幸男，酒井安昭，日本機械学会，2001年04月
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砥粒加工学会論文賞，桐野宙治，榎本俊之，砥粒加工学会，2013年03月
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砥粒加工学会 奨励賞，榎本俊之，砥粒加工学会，2002年09月
報道 【 表示 ／ 非表示 】
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複合粒子研磨法，日刊工業新聞，2003年03月
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複合粒子研磨法，日刊工業新聞，2002年08月
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アルミディスク効率研磨，日経産業新聞，1999年05月
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シリコンウエハー研磨テープ開発，日本工業新聞，1999年04月
講演会・展示会 【 表示 ／ 非表示 】
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砥粒加工学会挑戦的砥粒加工技術専門委員会第8回オープンシンポジウム，精密機械加工，2007年03月
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砥粒加工学会オープンセミナー，研磨加工の基礎，2005年12月
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次世代研磨加工技術コース，固定砥粒加工技術，2005年07月
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第3回先進研磨技術研究会，砥粒入り研磨パッド，2004年12月
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次世代研磨加工技術コース，固定砥粒加工技術，2004年07月
会議運営 【 表示 ／ 非表示 】
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国際会議，日本機械学会 the 6th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century，実行委員会 委員，2011年11月
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国際会議，日本機械学会 the 5th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century，実行委員会 現地委員長，2009年12月
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国内重要会議，日本機械学会第7回生産加工・工作機械部門講演会，実行委員会 幹事，2008年11月
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国際会議，International Symposium on Advances in Abrasive Technology 2008，Conference Committee Member，2008年10月
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国際会議，International Symposium on Advances in Abrasive Technology 2007，Conference Committee Member，2007年09月
学外運営 【 表示 ／ 非表示 】
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学会，精密工学会，関西支部商議員，2009年04月 ～ 継続中
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学会，日本機械学会，the 5th International Conference on Leading Edge Manufacturing 実行委員会 現地実行委員長，2008年03月 ～ 2009年12月
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学会，International Symposium on Advances in Abrasive Technology 2008，Conference Committee Member，2007年10月 ～ 2008年10月
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学会，日本機械学会，第7回 生産加工・工作機械部門講演会実行委員会幹事，2007年07月 ～ 2008年11月
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学会，精密工学会，ナノ精度機械加工専門委員会委員，2006年08月 ～ 継続中